Characterization of TiNO/TiN films

E. Punzón Quijorna, V. Torres Costa, F. Agulló-Rueda, P. Herrero Fernández, A. Climent, F. Rossi and M. Manso Silván, “TiNxOy/TiN dielectric contrasts obtained by ion implantation of O2+; structural, optical and electrical properties,” J. Phys. D: Appl. Phys. 44(23), 235501 (2011).

Esta entrada fue publicada en Publications y etiquetada , , , , , , , . Guarda el enlace permanente.